近日,中國兵器工業(yè)集團微電子院在MEMS領域取得新成果,推出自主研發(fā)的新產(chǎn)品高精度MEMS智能傳感器產(chǎn)品。
微電子院領航國內(nèi)MEMS晶圓制造技術,自主研發(fā)具有高精度、低功耗、小型化特點的系列MEMS智能傳感器,可廣泛應用于智能汽車、航空航天、工業(yè)測控等領域,相關產(chǎn)品達到國際先進水平。下一步,微電子院將繼續(xù)開展MEMS核心關鍵技術攻關,打造原創(chuàng)技術策源地,推動科技成果轉(zhuǎn)化,加快培育新質(zhì)生產(chǎn)力,為微電子行業(yè)繁榮發(fā)展提供有力支撐。