答：液質(zhì)系統(tǒng)關(guān)機(jī)需要卸真空。具體操作如下：1）關(guān)閉液相，質(zhì)譜待機(jī)；2）打開(kāi)軟件“系統(tǒng)控制”模塊，點(diǎn)擊“自動(dòng)關(guān)機(jī)”，待質(zhì)譜加熱模塊和DL降溫后，分子渦輪泵和機(jī)械泵停止，等待關(guān)機(jī)完成后，即可關(guān)閉軟件，使用DL Plug堵住DL入口。

問(wèn)：液質(zhì)關(guān)機(jī)分幾步？

答：液質(zhì)系統(tǒng)關(guān)機(jī)分3步：1）沖洗液相系統(tǒng)置換溶液；2）液質(zhì)系統(tǒng)待機(jī)、卸真空；3）關(guān)機(jī)，關(guān)閉液相色譜各單元和質(zhì)譜單元電源；關(guān)閉氮?dú)獍l(fā)生器電源或液氮罐總氣閥，關(guān)閉氬氣鋼瓶總氣閥；清空廢液，檢查廢氣管位置。

元素分析儀器（ICPMS-2030系列）

問(wèn)：假期期間需要關(guān)機(jī)嗎？

答：通常情況下不建議經(jīng)常關(guān)機(jī)，保持日常開(kāi)機(jī)狀態(tài)有利于真空度維持。如果較長(zhǎng)時(shí)間不使用，為避免停電對(duì)儀器造成損害，可以關(guān)機(jī)。

問(wèn)：如何正確關(guān)機(jī)？

答：儀器在待機(jī)狀態(tài)下，通過(guò)軟件 -“儀器”-“真空泵”關(guān)閉真空系統(tǒng)，等待真空系統(tǒng)顯示停止，關(guān)閉主機(jī)電源開(kāi)關(guān)。妥善處理儀器周邊的樣品、校平器及廢液瓶中廢液，確保氬氣、氦氣鋼瓶關(guān)閉。

問(wèn)：如何正確開(kāi)機(jī)？

答：打開(kāi)儀器主電源開(kāi)關(guān)，稍作等待后通過(guò)軟件 -“儀器”-“真空泵”打開(kāi)真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)顯示Ready后，開(kāi)機(jī)完成。

表面分析儀器（XPS）

問(wèn)：假期期間XPS可以不關(guān)機(jī)，保持待機(jī)狀態(tài)嗎？

答：可以的，對(duì)于假期期間可以正常供電的用戶，強(qiáng)烈建議保持待機(jī)狀態(tài)，只需保證X射線源、離子源等處于關(guān)閉狀態(tài)即可。

問(wèn)：XPS關(guān)機(jī)時(shí)需要關(guān)閉各個(gè)真空閥門嗎？

答：需要關(guān)閉高純氮進(jìn)氣閥、離子槍、UPS與主真空連接閥門及三個(gè)Backing閥門，確保儀器處在真空狀態(tài)，對(duì)沒(méi)有空壓機(jī)客戶保持普氮進(jìn)氣閥處于開(kāi)啟狀態(tài)（使防震氣墊正常工作）。

問(wèn)：XPS開(kāi)機(jī)后需要注意什么？

答：注意檢查氣體、循環(huán)水、預(yù)抽室與主真空室的真空是否在正常狀態(tài)，若處在正常狀態(tài)即可進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試前建議先對(duì)燈絲、陽(yáng)極靶進(jìn)行脫氣操作。

表面分析儀器（SPM）

問(wèn)：儀器完全關(guān)機(jī)有先后順序嗎？

答：有的，但只需要記住一點(diǎn)，就能確保安全關(guān)機(jī)。先退出儀器軟件，最后關(guān)閉儀器和電腦總電源，其它無(wú)先后順序。（如使用了載氣，不要忘記關(guān)閉載氣閥。）

問(wèn)：儀器完全關(guān)機(jī)后環(huán)境是否有特殊要求？如溫度、濕度及儀器是否要確保一定的真空度？

答：由于儀器基本不涉及真空度，因此對(duì)環(huán)境無(wú)特殊要求，僅需確保常規(guī)的環(huán)境即可。

問(wèn)：儀器關(guān)機(jī)后，探針架及探針如何存放？

答：儀器關(guān)機(jī)后，需將探針架從儀器中取出；如果探針架上還有探針，應(yīng)取下探針?lè)湃胩结樅袃?nèi)，將探針架及探針?lè)湃敕莱惫窭锔稍锉４妗?

問(wèn)：儀器長(zhǎng)時(shí)間關(guān)機(jī)后，需要開(kāi)機(jī)多久才能進(jìn)行正常使用？

答：由于儀器通常情況下不涉及真空度，因此儀器在通電開(kāi)啟后即可進(jìn)行正常使用。

表面分析儀器（EPMA）

問(wèn)：假期電子探針顯微分析儀（EPMA）需要關(guān)機(jī)嗎？

答：一般我們推薦使用待機(jī)模式即可，保持最基本的真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)，節(jié)后可快速恢復(fù)至工作狀態(tài)。如長(zhǎng)時(shí)間不使用，對(duì)于EPMA-1720系列，可以整體全部關(guān)機(jī)，對(duì)于場(chǎng)發(fā)射EPMA-8050G最好保持電子槍電源的基本供應(yīng)，以維持電子槍的運(yùn)行需要。

問(wèn)：EPMA關(guān)機(jī)時(shí)，各個(gè)附屬設(shè)備有先后順序嗎？

答：在軟件上操作關(guān)機(jī)命令后，按提示操作，關(guān)閉主機(jī)后再關(guān)閉電腦、PR氣、等20min~1h后關(guān)閉循環(huán)水，最后關(guān)閉所有電源即可。開(kāi)機(jī)時(shí)，按相反的順序操作依次打開(kāi)。

問(wèn)：EPMA開(kāi)機(jī)后需要注意什么？

答：先檢查附屬設(shè)備的狀態(tài)，如RP氣的氣壓、循環(huán)水的水質(zhì)和余量、機(jī)械泵的泵油情況等等。確保附屬設(shè)備工作正常后，再打開(kāi)主機(jī)。