隨著5G的不斷部署，基站，小型蜂窩，手機和工業(yè)設(shè)備將需要符合標準的IC設(shè)備。而這些部件納入供應(yīng)鏈，意味著IC制造商需要針對與5G芯片的自動化測試系統(tǒng)。自動化測試系統(tǒng)（ATE）將需要對在28 GHz和39 GHz以及6 GHz以下頻段運行的無線電，波束形成器，放大器和其他部件進行測試；這就要求ATE中需要包含向量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）和數(shù)字I / O等設(shè)備。在5G測試設(shè)備中，我們注意到越來越多的ATE公司正在進入5G大市場中。Marvin Test Solutions與Rohde＆Schwarz合作開發(fā)5G IC的ATE系統(tǒng)，也將參與這場競爭之中。

圖1：TS-960e-5G外觀圖

1、 硬件部分

TS-960e-5G mmWave測試系統(tǒng)可提供高達50 GHz的測試性能。該系統(tǒng)將實驗室級RF性能直接集成到mmWave被測設(shè)備（DUT）中，用于mmWave設(shè)備的多網(wǎng)站生產(chǎn)測試或設(shè)備表征。此外，MTS還提供全套數(shù)字和參數(shù)測試以及SPI / I2C接口支持，以便在功能上控制/監(jiān)控被測設(shè)備。

主要組件（如圖2所示）：

 Rohde & Schwarz ZNBT40 24通道，40 GHz VNA
 Marvin Test GX7205 PXI機箱，為每個DUT提供一個專用32通道，100/125 MHz DIO卡，以及一個GX3104源測量單元（SMU）
 Rohde & Schwarz OSP320，增加了4個1×6開關(guān)，用于互調(diào)測試
 Marvin測試頭具有產(chǎn)品接口，包括Seiko Epson 8040 Quad Site封裝設(shè)備處理器的接口

圖2：TS-960e-5G內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖

1) 開短路以及DC/AC測試

基本版的ATE中包含64個動態(tài)數(shù)字I / O信道，64個靜態(tài)數(shù)字I / O信道，一個用戶可程序設(shè)計電源，一個系統(tǒng)自檢和夾具。動態(tài)數(shù)字I/O—GX5296，每引腳PMU功能，可以快速實現(xiàn)開短路以及DC測試；125MHz的數(shù)據(jù)速率有助于實現(xiàn)AC測試，結(jié)合GtDIO6xEasy軟件，可以實現(xiàn)pattern文件的編寫以及導(dǎo)入，用于驗證基本的功能性測試。靜態(tài)數(shù)字I/O——GX5733可以很好的實現(xiàn)切換功能以及環(huán)境變量控制；

圖3：TS-960e-5G數(shù)字子系統(tǒng)

2) 射頻功能測試部分

ATE中使用Rohde＆Schwarz的ZNBT40是一款多端口向量網(wǎng)絡(luò)分析儀，工作頻率范圍為9 kHz至40 GHz，最多可提供24個通道。該儀器可以同時測試多個DUT或測量一個DUT，最多24個通道。即使在具有大量埠的情況下，它也可以在3.5 ms的短測量時間完成201點的掃描。

ZNBT40具有高達135 dB的寬動態(tài)范圍，高輸出功率水平和具有高功率處理能力的輸入。該儀器主要用于開發(fā)和生產(chǎn)有源和無源多端口組件，如GPS，WLAN，藍牙和多頻段移動電話的前端模塊，且能夠確定24通道DUT的所有576個S參數(shù)。

圖4：TS-960e-5G射頻測試子系統(tǒng)

3) Handler界面
對于需要與自動化處理器集成的生產(chǎn)測試應(yīng)用，TS-960e-5G配備了一個inTEST操縱器，可以提供測試頭的精確定位以及與自動探測器和設(shè)備處理器接口。TS-960e-5G的設(shè)備接口板（DIB）/接收器接口幾乎兼容任何設(shè)備處理器。

圖5：TS-960e-5G界面板

圖6：EPSON NS-8040

2、 軟件部分

ATE中軟件的執(zhí)行環(huán)境為ATEasy，可以輕松完成測試程序的編寫和執(zhí)行管理工作；同時配有ICEasy半導(dǎo)體測試軟件包；DIOEasy-Fit：pattern轉(zhuǎn)換和導(dǎo)入工具；GtDio6xEasy：pattern編輯工具；5G VNA，VSA測試套件：可以進行頻譜，時序顯示及統(tǒng)計，數(shù)字調(diào)制分析等工作。

圖7：測試程序集