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芯片On-wafer測試解決方案: 微波功率放大(PA)芯片的增益壓縮測試


  來源: 中電儀器 時間:2020-04-15 編輯:清風
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圖5  增益壓縮參數(shù)設置


表1 矢量網(wǎng)絡分析儀測試設置及方法




2.2 系統(tǒng)校準

在矢量網(wǎng)絡分析儀上選擇【校準】→[校準…],并按向?qū)释瓿伤行省?

(1)選擇被測件的連接類型為No Gender,校準件選擇已預編輯好并存矢量網(wǎng)絡分析儀中的“I67_GSG_150_3”,如圖6所示。


圖6  向?qū)试O置


(2)進行功率校準。功率校準使用功率計對矢量網(wǎng)絡分析儀的源功率進行校準,將功率計的USB接口接到矢量網(wǎng)絡分析儀上,并將其同軸接口與矢量網(wǎng)絡分析儀的1端口相連,連接示意如圖7所示。待從矢量網(wǎng)絡分析儀上識別出功率計后進行校準,設置功率偏移為0dB,容差為0.2dB,最大讀取次數(shù)為5,如圖8所示。校準完成如圖9所示,功率校準時間相對較長。



圖7  矢量網(wǎng)絡分析儀與功率計的連接方式



圖8  功率校準配置



圖9  功率校準過程


功率校準通過后,用同軸電纜將兩個探針與矢量網(wǎng)絡分析儀的兩端口連接,并根據(jù)校準向?qū)У囊龑нM行雙端口SOLT校準,校準平面為探針端面。校準完成后,矢量網(wǎng)絡分析儀可保存.cst校準文件方便回調(diào)。


2.3 增益壓縮測試

校準完成,將校準片從載物臺取下,放上被測放大器芯片,芯片在顯微鏡下如圖10所示。開始對其測試。


圖10  被測放大器芯片


已知該低噪聲放大器芯片增益為24dB。增益壓縮測試可得到芯片的S21(線性增益)、CompGain21、DeltaGain21、CompIn21和CompOut21等參數(shù),這些參數(shù)的測量結(jié)果分別如圖11所示。矢量網(wǎng)絡分析儀中還支持三維顯示頻率-功率-增益曲線,更直觀地觀察增益壓縮。從測試結(jié)果可以看出,放大器的線性增益在24dB以上,1dB壓縮點增益在23dB以上,且曲線形狀吻合;1dB壓縮點輸入功率在-15dBm~-11dBm之間,輸出功率在8dBm~12dBm之間。


(a)二維增益壓縮圖


圖11  被測件S參數(shù)測試結(jié)果


3、總結(jié)


增益壓縮測試系統(tǒng)中掃描方式以及壓縮方法根據(jù)實際測試需求決定,3672矢量網(wǎng)絡分析儀提供了多種靈活的選擇,滿足絕大部分用戶需求,并且經(jīng)過簡單操作后即可得到同種芯片的多種狀態(tài)參數(shù),使用方便快捷,可應用于放大器芯片的生產(chǎn)測試環(huán)節(jié)。(作者:李宇陽 劉森 楊保國 鄭利穎)


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