氣電轉(zhuǎn)換器工作

圖6一電感測(cè)微儀工作原理方框圖氣電組合測(cè)t儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí)，測(cè)量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批量生產(chǎn)測(cè)量，又適用于刁嗽t生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.時(shí)，氣流經(jīng)過濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉(zhuǎn)換器內(nèi)(如圖5中箭頭所示)，進(jìn)入的氣流分為兩路，一路經(jīng)噴嘴l進(jìn)人波紋管3的內(nèi)腔，經(jīng)由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經(jīng)進(jìn)氣噴嘴2進(jìn)人波紋管3的外腔，從測(cè)量噴嘴6噴出。由于工件被測(cè)尺寸的變化，測(cè)量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化，從而改變了波紋管3內(nèi)外腔原來調(diào)定的空氣壓力差，使波紋管3沿軸向產(chǎn)生伸縮，并帶動(dòng)磁芯4位移，使感應(yīng)線圈5中的電感量發(fā)生變化，電感量的變化被送到電感測(cè)微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會(huì)產(chǎn)生伸縮，因此測(cè)量靈敏度高，測(cè)量精度也高。

為了將電感量的變化進(jìn)行邏輯運(yùn)算處理，并將處理結(jié)果用數(shù)字顯示出來，氣電組合量?jī)x將兩個(gè)氣電轉(zhuǎn)換器的電信號(hào)輸出端同時(shí)接入一個(gè)數(shù)顯電感測(cè)微儀輸入端中運(yùn)算處理，由儀器將測(cè)量結(jié)果用數(shù)字顯示出來。電感測(cè)微儀工作原理方框圖如圖6所示。

氣電組合測(cè)量?jī)x具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí)，測(cè)量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批t生產(chǎn)測(cè)量，又適用于小批量生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.