最后,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于廠商服務(wù)水平的要求也遠(yuǎn)高于其它行業(yè),例如必須24小時(shí)“on call”隨叫隨到,必要時(shí)需要工程師及時(shí)駐場(chǎng);儀器出現(xiàn)故障必須在48小時(shí)之內(nèi)修好,或者提供備用機(jī)服務(wù);儀器安裝時(shí)需要提供全部待檢測(cè)化學(xué)品的分析方法,幫助用戶提前建好分析方法;提供儀器與其它自動(dòng)化進(jìn)樣設(shè)施的連接方法,包括硅片前處理裝置、化學(xué)品在線進(jìn)樣裝置等。
上述半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)分析儀器及廠商的極高要求,最終體現(xiàn)在對(duì)儀器生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)、應(yīng)用水平、售后響應(yīng)速度等整體實(shí)力的要求上。而我國(guó)科學(xué)儀器行業(yè)整體技術(shù)實(shí)力與國(guó)外廠商相比還有明顯差距,創(chuàng)新能力偏弱,這就造成了進(jìn)口品牌在半導(dǎo)體行業(yè)獨(dú)占鰲頭的局面。
3、萊伯泰科潛心打造國(guó)產(chǎn)ICP-MS第一品牌,努力破局
如何破局?如何打破進(jìn)口品牌在半導(dǎo)體行業(yè)的壟斷?萊伯泰科一直在行動(dòng),在努力發(fā)展自主創(chuàng)新,保持埋頭苦干的同時(shí),也密切關(guān)注著整個(gè)行業(yè)的動(dòng)向,時(shí)刻保持著抬頭看路的清醒。從2019年開(kāi)始,萊伯泰科便著手組建了一支優(yōu)秀的ICP-MS研發(fā)團(tuán)隊(duì),投入大量資金和人員,努力以自有技術(shù)攻破壁壘,以打造國(guó)產(chǎn)ICP-MS第一品牌為目標(biāo),在儀器的智能化、系統(tǒng)化、自動(dòng)化方面創(chuàng)新突破以實(shí)現(xiàn)差異化的發(fā)展。
不論是技術(shù)儲(chǔ)備還是對(duì)ICP-MS的深刻理解,萊伯泰科都有著得天獨(dú)厚的優(yōu)勢(shì)。萊伯泰科董事長(zhǎng)胡克博士師從ICP-MS發(fā)明人Houk教授,對(duì)于ICP-MS有十五年的深入研究,并且取得了很多成績(jī),例如他在全球率先采用了偏轉(zhuǎn)型的離子透鏡,拋棄了當(dāng)年的擋光板,能更加有效地阻擋光子的進(jìn)入,目前幾乎所有的商用ICP-MS都采用偏轉(zhuǎn)離子透鏡的方法;其次,將進(jìn)樣錐口的孔徑增大至1.1mm同時(shí)設(shè)計(jì)分級(jí)真空提高抽速,不僅使更多的離子進(jìn)入質(zhì)譜同時(shí)還降低了干擾,提高了檢測(cè)靈敏度和適用性;最后一點(diǎn),胡博士還設(shè)計(jì)了一種接口處加電壓的方法,讓進(jìn)入離子本身具有更高動(dòng)能,如今市場(chǎng)上的高靈敏質(zhì)譜就采用這一技術(shù)。這一系列的開(kāi)創(chuàng)性工作,為許多儀器公司開(kāi)發(fā)質(zhì)譜的技術(shù)提供了依據(jù)和參考。
在這次ICP-MS的研發(fā)過(guò)程中,萊伯泰科對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行了細(xì)致入微的研究和調(diào)查,并與多家國(guó)內(nèi)著名半導(dǎo)體企業(yè)開(kāi)展技術(shù)合作,終于,在2021年5月18日,萊伯泰科正式推出了首臺(tái)LabMS 3000 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。
LabMS 3000在整機(jī)設(shè)計(jì)、進(jìn)樣系統(tǒng)材料、錐接口、錐材料以及碰撞反應(yīng)池、冷熱焰模式等方面都做出了獨(dú)特的設(shè)計(jì)和改進(jìn)。除了通過(guò)SEMI S2認(rèn)證外,也能滿足大部分Wafer Fab企業(yè)的高安全要求。
LabMS 3000采用了高穩(wěn)定性和高耐受性的質(zhì)譜硬件,可以提供良好的基體耐受性,帶來(lái)了新一代的高性能、長(zhǎng)壽命檢測(cè)器,采用脈沖、模擬雙模式同時(shí)型電子倍增器,可在一次運(yùn)行中實(shí)現(xiàn)常量元素(數(shù)百或數(shù)千 ppm)與痕量元素(ppt 或亞 ppt 級(jí))的直接分析,簡(jiǎn)化分析方法和分析時(shí)間。LabMS 3000還具有三種高性能去除質(zhì)譜干擾功能,包括質(zhì)量校正方程、冷焰模式和第四代碰撞池技術(shù),可消除棘手的多原子和雙電荷離子干擾,避免降低數(shù)據(jù)質(zhì)量,同時(shí)可減少高成本的樣品重新測(cè)量需求。
LabMS 3000配備的HiMass 軟件,是軟件團(tuán)隊(duì)專為中國(guó)用戶打造的軟件平臺(tái),擁有良好的邏輯性和便捷性。HiMass采用直觀的任務(wù)導(dǎo)航欄和工具欄,把智能與流程化相結(jié)合引進(jìn)到儀器控制與操作流程上,更符合中國(guó)人操作習(xí)慣,并可以確保高效、準(zhǔn)確的運(yùn)行與分析結(jié)果,支持中英文語(yǔ)言實(shí)時(shí)切換、數(shù)據(jù)上傳、接入實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng)和定制報(bào)告格式模版。HiMass軟件,可以自定義質(zhì)譜運(yùn)行日程安排,自動(dòng)化完成從等離子體點(diǎn)火、自動(dòng)啟動(dòng)性能檢查和優(yōu)化、自動(dòng)跳轉(zhuǎn)至方法和序列,完成數(shù)據(jù)采集和自動(dòng)生成報(bào)告,適用于實(shí)驗(yàn)室的各種分析需求。
除了上述LabMS 3000各種軟硬件的優(yōu)勢(shì)之外,萊伯泰科本身在應(yīng)用方法的開(kāi)發(fā)和售后服務(wù)上,也有自己獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。在組建研發(fā)團(tuán)隊(duì)的同時(shí)也打造了一只技術(shù)過(guò)硬的應(yīng)用團(tuán)隊(duì),針對(duì)行業(yè)特點(diǎn)開(kāi)發(fā)不同樣品檢測(cè)方法的同時(shí),憑借已有的全自動(dòng)前處理技術(shù),定制化的開(kāi)發(fā)了全自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)。萊伯泰科歷經(jīng)近20年的發(fā)展,售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)更是覆蓋了全國(guó),可以提供高質(zhì)量的售后服務(wù),以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊需求。
萊伯泰科LabMS 3000上市之初,首發(fā)行業(yè)選擇的是半導(dǎo)體行業(yè),很多人表示不理解,對(duì)于國(guó)產(chǎn)儀器進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)不看好。但是,胡克博士認(rèn)為,困難的事情總得有人去做,在這個(gè)看實(shí)力的年代,需要的是破局的能力和決心,而不是原地踏步、固步自封。萊伯泰科有實(shí)力也有決心和信心,做就一定要努力做到最好,飛必沖天,鳴必驚人?!爸灰覀冃拇胬硐耄_踏實(shí)地,潛下心來(lái)打造國(guó)產(chǎn)ICP-MS第一品牌,趕上進(jìn)口高端分析儀器不會(huì)只是一個(gè)遙遠(yuǎn)的夢(mèng)。”胡克博士說(shuō)道。