傳感器是一個極其特殊的行業(yè),它的產(chǎn)值不算高,2019年我國市場規(guī)模約2200億人民幣,但卻有數(shù)萬個品類,幾乎遍布所有產(chǎn)業(yè)和每個國民經(jīng)濟(jì)的角落。它集機(jī)械、光、電于一身,能精確衡量壓力、溫度、濃度、速度等,卻又受制于芯片、材料、電路的發(fā)展瓶頸。它的原理透明,但工藝卻非常復(fù)雜,是制造業(yè)中少見的帶有“手藝”氣息的工業(yè)品,技術(shù)訣竅深藏在工藝之中。
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我國傳感器行業(yè)起步較晚,核心技術(shù)缺失,因而以中低端制造為主,隨著近年智能制造、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等熱火朝天的發(fā)展,特別是MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器朝著微型、低功耗、高精度方向發(fā)展,傳感器行業(yè)迎來了第二春。
本文著重介紹壓力傳感器的基礎(chǔ)應(yīng)用和未來方向。
一、壓力傳感器傳輸原理
壓力是指發(fā)生在兩個物體接觸表面的作用力,同時包含不同形態(tài)下的作用力,一般可分為氣壓、液壓、固壓三種情況。壓力傳感器通過感受壓力信號,將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號器件或裝置,以便輔助機(jī)器完成判斷,因而成為IOT感知層技術(shù)的基石。
在過去幾十年中,汽車行業(yè)一直是推動壓力傳感器需求的主要行業(yè),迄今為止,壓力傳感器已廣泛應(yīng)用在管道液壓、消防、智能汽車、智慧醫(yī)療、航空航天等眾多領(lǐng)域。2020年全球壓力傳感器市場規(guī)模已達(dá)16.5億美元,合計(jì)人民幣104億元,據(jù)新思界產(chǎn)研中心報(bào)告顯示,壓力傳感器的份額約占20%,僅次于流量傳感器。
二、5大壓力傳感器及應(yīng)用場景
壓力傳感器有多種分類方式。從工作原理來劃分,壓力傳感可分為壓電式、壓阻式、應(yīng)變式、電容式等。從使用材料和傳感原理來看,主要有應(yīng)變式壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、擴(kuò)散硅壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器5種。
1、應(yīng)變片壓力傳感器——高精度 最廣泛
電阻應(yīng)變片壓力傳感器的核心是電阻應(yīng)變片,即一個受力會形變的金屬片。當(dāng)應(yīng)變片受外力影響時,其長度和截面積都會發(fā)生變化,進(jìn)而改變電阻值。比如當(dāng)金屬絲受外力作用而伸長時,其長度增加,而截面積減少,電阻值便會增大。
應(yīng)變式傳感器可以測量應(yīng)變應(yīng)力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量,在不同領(lǐng)域間的應(yīng)用也最為廣泛。尤其應(yīng)用在高精度要求的工業(yè)稱量系統(tǒng)產(chǎn)品,如平臺秤和料斗稱量系統(tǒng)。
2、陶瓷壓力傳感器——抗磨損 夠穩(wěn)定
彈性好、抗沖擊、抗磨損、性能穩(wěn)定……陶瓷是壓力傳感器的理性材料。陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,而是以陶瓷直接作為感應(yīng)膜片,讓壓力間接作用于陶瓷膜片背面的厚膜電阻, 連接成一個惠斯通電橋,電阻阻值變化后通過電橋產(chǎn)生一個與壓力、激勵電壓成正比的電壓信號。
相比金屬應(yīng)變片,陶瓷壓力傳感器最大的特點(diǎn)就是抗腐蝕,在測量腐蝕性介質(zhì)的壓力時,如在化工、制冷等領(lǐng)域中往往大顯身手。其次,陶瓷壓力傳感器常以分層結(jié)構(gòu)組成,故有較好的抵抗壓力峰值的作用,但相應(yīng)的靈敏度可能沒有前者表現(xiàn)優(yōu)秀。
3、擴(kuò)散硅壓力傳感器——小體型 大信號
其原理是被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,并依靠電子線路檢測到變化,迅速轉(zhuǎn)換、輸出相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的一個顯著優(yōu)點(diǎn)是信號輸出大,為后端變送調(diào)理線路提供了很大的優(yōu)勢,加上分辨率高,靈敏度高,其可選的后端電路更多。其次,擴(kuò)散硅的體積小巧利于安裝,可以廣泛應(yīng)用在醫(yī)療器械中,用于輔助生物監(jiān)測。
4、藍(lán)寶石壓力傳感器——精度準(zhǔn)價(jià)格高
與第1種應(yīng)變電阻式工作原理類似,受到傳輸壓力后其接收膜片發(fā)生形變,變化被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋?qū)⑤敵龊蛪毫Τ尸F(xiàn)正比的變化電信號。