2021年9月，廣東省首個智能傳感器產(chǎn)業(yè)園——粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，正式揭牌，力爭5年內(nèi)建成立足粵港澳大灣區(qū)輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，形成千億級產(chǎn)業(yè)集群。

2022年12月，增芯12英寸先進MEMS智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目開工建設(shè)，打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應(yīng)用為一體的MEMS制造平臺。計劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)，一期第一階段達產(chǎn)后產(chǎn)能2萬片/月；一期第二階段達產(chǎn)后產(chǎn)能擴至6萬片/月。該產(chǎn)線規(guī)模遠超現(xiàn)有MEMS產(chǎn)線產(chǎn)能，或?qū)⒊蔀橹袊酥寥蛞?guī)模最大的MEMS產(chǎn)線，將對我國傳感器產(chǎn)業(yè)格局有較大影響。

代表性企業(yè)：

奧松電子

奧松電子是國內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，廣東省內(nèi)為數(shù)不多的IDM模式傳感器公司。

奧迪威（已上市）

國內(nèi)超聲波傳感器龍頭企業(yè)，北京證券交易所第一家上市的傳感器公司。

颯特紅外

國內(nèi)較知名的紅外傳感器、熱像儀生產(chǎn)企業(yè)。

深圳：國內(nèi)最豪華一攬子政策，中國經(jīng)濟最強省打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)兩大核心之一

主要政策：《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》、《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022-2025年）》《深圳市關(guān)于推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展的若干措施》

目標：到2025年智能傳感器產(chǎn)業(yè)增加值達到80億元、實現(xiàn)翻番，新增一批專精特新“小巨人”、制造業(yè)“單項冠軍”、“獨角獸”企業(yè)。

作為中國特色社會主義先行示范區(qū)，深圳起到經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展的示范作用，先后發(fā)布《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》等一攬子政策，培育發(fā)展壯大“20+8”先進產(chǎn)業(yè)集群。

其中，智能傳感器產(chǎn)業(yè)是深圳首批先行產(chǎn)業(yè)，獲得重點扶持，深圳表示要“像重視集成電路一樣重視智能傳感器”，將智能傳感器提到前所未有的高度。

深圳聚焦智能傳感器設(shè)計、制造、封測、裝備材料等環(huán)節(jié)，加快新型傳感器材料、CMOS-MEMS集成技術(shù)、先進封裝工藝等核心技術(shù)攻關(guān)，建設(shè)MEMS中試線、MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)基地，豐富智能傳感器在消費電子、汽車電子、智慧城市等領(lǐng)域應(yīng)用場景，支持南山、龍華、光明等區(qū)建設(shè)集聚區(qū)，打造全要素完備的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。

2022年，深圳光明區(qū)將支持建設(shè)一條兼具研發(fā)中試和量產(chǎn)能力的亞微米級8英寸MEMS中試線，項目總投資額15.33億元，建成后一條線產(chǎn)能可達3000片。重點推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，形成標準工藝設(shè)計工具包(PDK)，面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務(wù)。

2022年12月，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金已落地光明。此外，多項扶持政策落地，對企業(yè)能夠解決智能傳感器產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題的，資金資助最高達到了1億元！

2023年3月，首屆深圳國際傳感器與應(yīng)用技術(shù)展覽會（SensorShenzhen）開幕，這是粵港澳大灣區(qū)首個大規(guī)模傳感器專業(yè)展會，吸引了全國各地眾多傳感器廠商，詳情參看《飛往深圳的航班里，坐滿了尋找傳感器機遇的廠商》

代表性企業(yè)：

匯頂科技（已上市）

中國指紋識別傳感器龍頭企業(yè)，領(lǐng)先的IC設(shè)計與解決方案領(lǐng)先提供商。

瑞聲科技（已上市）

中國MEMS十強企業(yè)，國內(nèi)最大的MEMS傳感器企業(yè)之一，中國第二大MEMS聲學傳感器供應(yīng)商。

速騰聚創(chuàng)

中國領(lǐng)先的激光雷達企業(yè)之一，擁有全球最多的整車廠（OEM）合作數(shù)車型，掌握激光雷達核心技術(shù)——MEMS振鏡技術(shù)。

結(jié)語

近年來，智能傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展得到各地的支持，包括北上廣深等一線城市在內(nèi)，出臺了許多地方政策，爭先發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)，因篇幅有限，本文未能一一介紹，據(jù)估計約有30多個大中小城市明確支持發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)：