光刻機進場 開啟“芯”動力

助力廣東打造集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極” 廣州增芯項目進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段

3月11日10時40分左右，在廣州增芯科技有限公司一期廠房的潔凈室內(nèi)，在光刻區(qū)特有的淡黃色的燈光下，身穿防塵服的工作人員正忙著為新搬入的光刻機進行定位。

當日，增芯科技12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目（簡稱“增芯項目”）光刻機搬入活動在項目現(xiàn)場舉行，這標志著增芯項目迎來建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點，進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段。

正式通線量產(chǎn)指日可待

項目布局：近年來，增城加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，在培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)方面，相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級高、帶動力強的骨干項目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

增芯項目是廣東省、廣州市重點項目，打造國內(nèi)第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產(chǎn)線，對增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

當天上午，記者在增芯項目現(xiàn)場看到，伴隨著屏幕上光刻機從制造下線到運輸送達的紀錄片，在全場嘉賓的見證下，承載著光刻機的車輛緩緩啟動，將設(shè)備運入廠房，完成了增芯項目的重要歷史時刻。

光刻機搬入廠房，進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段

“可以說，光刻機一進場，距離正式通線量產(chǎn)就指日可待?！痹鲂究萍加邢薰究偨?jīng)理張亮在現(xiàn)場接受采訪時表示，光刻機作為整個集成制造中最關(guān)鍵的核心設(shè)備，資金投入占比高達工廠建設(shè)25%。

據(jù)張亮透露，此次光刻機的搬入，意味著增芯項目迎來建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點，順利進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段?！拔覀冇媱澰诮衲?月完成首批設(shè)備的安裝，今年12月底完成滿足良率的產(chǎn)品下線，目前這兩個節(jié)點正在順利推進中?！?

增芯項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設(shè)，實現(xiàn)了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個多月便迎來了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機，步入設(shè)備安裝調(diào)試階段，充分展現(xiàn)了敢為人先的“增城速度”“增芯速度”，切實為廣州東部中心成型起勢提供強支撐、“芯”動力。

“2021年，我也曾站在這里，拿著手機拍過幾張照片，那時還是雜草可齊腰、牛羊在吃草的田園景象?！睆V州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團董事長、上海興橙投資董事長、廣州增芯科技有限公司董事長陳曉飛回想三年前項目的場景，充滿感慨，“如今，增芯經(jīng)過了9個月土建封頂，12個月首臺套設(shè)備搬入，今天更是迎來了工廠最核心設(shè)備——光刻機的搬入，我們一步一個腳印，信心滿滿，充滿希望。”

“這幾年，我們抓住集成電路產(chǎn)業(yè)這一新質(zhì)生產(chǎn)力高速發(fā)展的時間窗口，在增城國家級開發(fā)區(qū)，全力以赴規(guī)劃發(fā)展半導體第三極，為高水平科技自立自強注入全新力量。”陳曉飛表示，作為民營企業(yè)，決心與產(chǎn)業(yè)界的上下游一同打造大灣區(qū)的“硅谷”，打造出中國集成電路的又一生態(tài)圈。

做好全鏈條要素保障

目前，增城正不斷加快建設(shè)高端電子信息新材料產(chǎn)業(yè)園，加速打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，著力推動全產(chǎn)業(yè)鏈條完整集聚，構(gòu)建粵港澳大灣區(qū)的半導體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)和產(chǎn)業(yè)高地，助力廣州打造全國集成電路產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，助力廣東打造國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”。

作為廣州半導體與集成電路“一核兩極多點”產(chǎn)業(yè)格局中重要兩極之一，未來，廣州市和增城區(qū)將全力以赴優(yōu)化營商環(huán)境，繼續(xù)提供最優(yōu)質(zhì)、最便捷、最高效的“全生命周期服務”，大力支持增芯項目建設(shè)，做好全鏈條要素保障，保障順利投產(chǎn)。