量子點紅外成像技術(shù)概念
量子點(Quantum dots,QDs)是具有尺寸可調(diào)特征的1-20nm的半導(dǎo)體納米晶體,在可見光和紅外波長范圍內(nèi)具有較強(qiáng)的光吸收和明亮的窄帶****。
膠體量子點(Colloidal quantum dot,CQDs),量子限域效應(yīng)明顯,液相加工工藝使得其可以與硅基讀出電路進(jìn)行直接片上耦合,紅外成像器件通過集成探測紅外光子的紅外探測器和激發(fā)可見光子的發(fā)光二極管,利用器件內(nèi)光-電-光的線性轉(zhuǎn)換過程,避免了讀出電路和復(fù)雜的電信號處理過程,能夠直接可視化紅外圖像。
量子點的特性可以通過顆粒大小、材料和成分進(jìn)行調(diào)整。量子點材料包括:Cd(鎘)基、In(銦)基、PbS(硫化鉛)、Perovskite(鈣鈦礦),以及新興的CuInS2(硫銦銅)、InAs(砷化銦)、ZnTeSe(硒鎘汞)。它們具有不同的帶隙,因此具有不同的吸收和****光譜的能力。
在性能與InGaAs芯片相當(dāng)?shù)那疤嵯?,基于量子點的成像芯片的成本不到其1%,有望實現(xiàn)短波紅外成像在消費級領(lǐng)域的應(yīng)用。
量子點紅外成像技術(shù)發(fā)展歷史
?光電導(dǎo)效應(yīng)發(fā)現(xiàn)于1873年的海底電纜絕緣層實驗。1917年,第一個紅外光電導(dǎo)探測器被研制出來。
?1981年和1983年,前蘇聯(lián)科學(xué)家Alexei Ekimov和美國科學(xué)家Louis Brus分別獨立發(fā)現(xiàn)了半導(dǎo)體納米顆粒的量子尺寸效應(yīng)。
?量子點在光電探測中的首次嘗試是在 1992 年,當(dāng)時膠體量子點被視為絕緣膠體,作為一種感光劑應(yīng)用于電子照相技術(shù)中。
?1993年,美國麻省理工學(xué)院Moungi G. Bawendi教授帶領(lǐng)的研究小組終于取得了重大突破。他們利用熱注入合成法,成功合成了單分散納米粒子,為量子點的大規(guī)模應(yīng)用開發(fā)打開了大門。
?1998 年,量子點紅外探測器(QDIPs)首次被論證。
?2003年,“固態(tài)配體交換”的方法被提出,為膠體量子點在光電探測領(lǐng)域的應(yīng)用提供了可能。
?2005年,多倫多大學(xué)Edward H. Sargent教授發(fā)表了第一篇短波紅外膠體量子點混合光探測器。2009年,西門子和奧地利林茨大學(xué)合作研發(fā)出PbS膠體量子點探測器。至此開始 PbS CQD 探測器的研究在近十年的時間內(nèi)成為該研究領(lǐng)域的新寵。
?2017年,西班牙光子中心的Stijn Goossens課題組通過使用石墨烯及PbS量子點晶體管結(jié)構(gòu),完成了近紅外焦平面陣列制備,陣列規(guī)模388×288,像元間距35μm。
?2022年,華中科技大學(xué)報道了一種基于PbS量子點的近紅外焦平面陣列,并展示了940nm光照下的成像效果。
?近年來具有優(yōu)異光電性能的量子點材料在硅基探測器的集成中已經(jīng)有了一定的成果,為硅基探測器性能的提升提供了新的思路。雖然量子點增強(qiáng)硅基探測器已經(jīng)收獲較好的效果,但仍存在一些機(jī)遇與挑戰(zhàn)。例如專用材料缺乏,存在集成工藝問題以及需要開發(fā)與之匹配的先進(jìn)的成像算法等。
量子點紅外技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀
1、中美是量子點紅外成像領(lǐng)域的主要目標(biāo)市場國
紅外成像技術(shù)應(yīng)用非常廣泛,而量子點紅外成像將極大地擴(kuò)展其應(yīng)用可能,近年來呈現(xiàn)快速發(fā)展的態(tài)勢。
根據(jù)相關(guān)專利數(shù)據(jù)(申請年2005以后),將量子點應(yīng)用于紅外探測的技術(shù)從2005開始興起,最早開始布局且為該領(lǐng)域TOP1的申請人InVisage公司,隨后呈現(xiàn)較為穩(wěn)定的增長趨勢;2011年左右數(shù)量激增,在2019-2020年左右,部分歐美相關(guān)技術(shù)企業(yè)已經(jīng)完成專利布局,專利申請數(shù)量略有下降。
隨著中國加入該項技術(shù)的投入和研究中,該領(lǐng)域的中國申請人近幾年的相關(guān)專利布局量整體呈現(xiàn)較為明顯的增長,說明該領(lǐng)域的主要申請人仍十分注重該領(lǐng)域相關(guān)技術(shù)的研發(fā)和專利布局。
圖1:申請人排名分析
該領(lǐng)域中,國外申請人擁有較多早期專利申請,相對國內(nèi)具備一定的領(lǐng)先能力。