安徽大學(xué)是國家“雙一流”建設(shè)高校，國家“211工程”建設(shè)高校。近日，安徽大學(xué)就2022年集成電路先進(jìn)材料與技術(shù)研究設(shè)施-光刻效果測量系統(tǒng)采購項目，發(fā)布采購預(yù)告，預(yù)計采購時間定于12月，總預(yù)算3690萬元人民幣。
光刻效果測量系統(tǒng)，主要用于8寸及以下硅晶圓的光刻工藝中的套刻對準(zhǔn)精度、線寬、顯影和去膠效果的表征測量、以及對芯片進(jìn)行損傷缺陷分析、分選等。需兼容第二代、第三代半導(dǎo)體材料以及電子元件產(chǎn)品的表征測量。
該系統(tǒng)包括：紅外線雙面套準(zhǔn)檢測儀、四探針方阻測試儀、臺階儀、原子力顯微鏡、3D數(shù)碼顯微鏡、射頻芯片測試平臺、模擬測試系統(tǒng)、高帶寬混合示波器、音頻信號分析儀、高分辨率芯片顯微分析儀、集成電路修補檢測系統(tǒng)、芯片分選機、推拉力測試儀及相應(yīng)測試儀表、X射線檢測儀、超聲波掃描顯微鏡等相關(guān)設(shè)備。
有興趣的企業(yè)不妨留意一下12月的采購信息。
另預(yù)告上還計劃：
11月采購“光刻加工系統(tǒng)”
10月采購“傳統(tǒng)封裝硅晶圓切割打標(biāo)系統(tǒng)”
9月采購“智慧實驗室系統(tǒng)”
