隨著功率半導(dǎo)體器件的發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展也不斷興起。國家重要會議提出，到 2035 年要實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)。從半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的國產(chǎn)替代角度而言，目前我國在核心半導(dǎo)體設(shè)備方面的替代空間巨大，同時技術(shù)提升也十分迫切，這對行業(yè)內(nèi)公司來說既是機(jī)遇也是挑戰(zhàn)。
航裕電源功率半導(dǎo)體測試解決方案主要針對功率半導(dǎo)體器件測試和半導(dǎo)體設(shè)備供電兩大方向，提供多種測試方案，滿足不同測試需求。
本文主要講解功率半導(dǎo)體設(shè)備供電部分。
航裕電源致力于為功率半導(dǎo)體設(shè)備提供便捷高效可控的智能可編程電源，助力集成系統(tǒng)設(shè)備完成各項測試工作。
青銅劍功率器件動態(tài)特性高效測試系統(tǒng)選用航裕電源
對于整機(jī)設(shè)備供電來說，首先電源的體積不易太大，要能與設(shè)備匹配連接，并滿足設(shè)備的測試用電需求。航裕電源多年來與青銅劍、華潤微電子、眾硅、威宇佳等半導(dǎo)體整機(jī)設(shè)備企業(yè)用戶溝通合作，發(fā)現(xiàn)根據(jù)產(chǎn)品情況的不同，對產(chǎn)品參數(shù)的需求變化也很大。目前，高壓電源依然占據(jù)市場的主要需求份額。
以功率器件測試系統(tǒng)一體設(shè)備來說，測試電源需要滿足以下幾點(diǎn)需求：
■ 輸出電壓最大達(dá)到10kV
■ 保持穩(wěn)定運(yùn)行時間達(dá)到8小時
■ 精度在±1級以上
■ 電壓值從0到額定值連續(xù)可調(diào)
更多要求參數(shù)可參見行標(biāo)：GB/T 5226.33-2017 機(jī)械電氣安全 機(jī)械電氣設(shè)備 第33部分：半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件
以離子注入機(jī)為例，所需求的電壓更遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于功率器件測試一體設(shè)備。參見行標(biāo)：EJ/T 647-1994 金屬用工業(yè)離子注入機(jī)，其中描述供電電壓需求達(dá)到100kV，高壓絕緣測試對電壓的要求高達(dá)150kV。
產(chǎn)品選擇
1高壓類供電電源
選用電源：
■ HY-HV系列可編程高壓直流電源
■ HY-HVL系列線性高壓直流電源
電源對比
2集成類便攜電源
選用電源：
■HY-S系列1U超薄可編程直流電源
■HY-G系列1U半寬超薄可編程直流電源
■HY-Z系列便攜式可編程直流電源
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