3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目（以下簡稱“增芯項目”）在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機搬入活動，這標志著增芯項目順利進入調試投產準備階段。據了解，該項目預計今年6月份將完成首批設備安裝，今年12月底完成第一個有良率的產品下線。

記者從現場獲悉，增芯項目一期計劃投資370億元，自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設，實現了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個多月便迎來了生產線最核心的裝備——光刻機?！斑@次大家看到光刻機進廠，說明離我們正式通線投產就不遠了?！睆V州增芯科技有限公司總經理張亮說。

“光刻機是晶圓制造當中最關鍵的核心裝備，我們計劃引入多臺光刻機，資金投入占到整個工廠建設的25%?！睆埩两榻B，光刻作為集成電路制造的關鍵工藝，利用光化學反應原理把實現制備在掩模版上的圖形轉印到晶圓表面，后續(xù)經過蝕刻在晶圓上形成圖形，“這臺光刻機的速率是非?？斓?，對我們整個的生產效率提升和穩(wěn)定起到了非常關鍵的作用”。

增芯項目接下來還有哪些關鍵節(jié)點？“在今年通線投產的過程中，我們還將經歷產品良率的提升、產能的爬坡等關鍵步驟，未來希望能在增城打造月產12萬片的產能，更好地輻射整個粵港澳大灣區(qū)集成電路芯片的需求?！睆埩翉娬{，目前國產裝備在增芯一期項目里的使用占比超過了35%，希望在二期投產的時候能達到一半以上。

值得注意的是，在廣東打造國家集成電路產業(yè)發(fā)展“第三極”過程中，增城區(qū)正加快構建以“芯顯車”為主導的現代化產業(yè)體系，在培育發(fā)展集成電路產業(yè)方面，已相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級高、帶動力強的骨干項目，覆蓋集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關鍵環(huán)節(jié)。

文、圖 ｜ 記者 許張超